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高(gāo)精密滑台

測試老(lǎo)化(huà)類光(guāng)路(lù)組裝類半導體(tǐ)封裝類芯片測試類高(gāo)精密滑台

高(gāo)精密滑台

高(gāo)精度全閉環直線滑台

産品特性

• 雙向位置重複精度:±20nm~±50nm
• 有(yǒu)效行(xíng)程:20mm~110mm
• 連續推力:20N~35N
• 最大(dà)水(shuǐ)平/垂直負載可(kě)達:6~19kg

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産品參數(shù)

深圳總部:廣東(dōng)省深圳市(shì)光(guāng)明(míng)區(qū)裕豐達工(gōng)業(yè)園3棟

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