重複精度：±0.005°/±0.003°
有(yǒu)效行(xíng)程：±5°～±8°
最大(dà)水(shuǐ)平負載：5kg/6kg

• 單向位置重複精度：±50nm
• XYZ有(yǒu)效行(xíng)程：50(110)/50/50(20)mm
• XYZ推力：26(35)/26/26N
• 最大(dà)水(shuǐ)平負載可(kě)達：6kg/10kg

• XYZ單向位置重複精度：±50nm
• XYZ有(yǒu)效行(xíng)程：50(110)/50(110)/20mm
• θxθyθz單向位置重複精度：±0.003~0.005°
• θxθyθz行(xíng)程：5~8°
• XYZ推力: 26(35)/26(35)/26N
• 最大(dà)水(shuǐ)平負載可(kě)達：6kg

• XYZ單向位置重複精度：±50nm
• XYZ有(yǒu)效行(xíng)程：50(110)/50(110)/50mm
• θxθyθz單向位置重複精度：±0.003~0.005°
• θxθyθz行(xíng)程：5~8°
• XYZ推力： 26(35)/26(35)/26N
• 最大(dà)水(shuǐ)平負載可(kě)達：6kg