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高(gāo)精密滑台

測試老(lǎo)化(huà)類光(guāng)路(lù)組裝類半導體(tǐ)封裝類芯片測試類高(gāo)精密滑台

高(gāo)精密滑台

滑台組合類型6軸系列

産品特性

• XYZ單向位置重複精度：±50nm
• XYZ有(yǒu)效行(xíng)程：50(110)/50(110)/50mm
• θxθyθz單向位置重複精度：±0.003~0.005°
• θxθyθz行(xíng)程：5~8°
• XYZ推力： 26(35)/26(35)/26N
• 最大(dà)水(shuǐ)平負載可(kě)達：6kg

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産品參數(shù)

深圳總部：廣東(dōng)省深圳市(shì)光(guāng)明(míng)區(qū)裕豐達工(gōng)業(yè)園3棟

前台總機(jī)：0755-23019639

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